设备介绍
卷对卷式PECVD是等离子增强型化学气相沉积设备(PECVD)，并加装了收放卷装置。本设备可用于线材的连续化热处理工艺中，如
碳纤维制备、合金及其他材料线材改性处理等应用中。也适合用于
石墨烯在卷材上的连续生长。设备含卷对卷收放卷运动模块、1200℃双温区可开启式管式炉模块、PE等离子增强模块、真空系统以及三路质子流量计供气系统五部分，整套体系可在真空/气氛保护环境下工作。 收放卷机构转速从1~400mm/min可调,机构采用反馈调节，可自动纠正转速偏差，保证样品的速度稳定不走样。
产品优势
样品速度稳定
收放卷机构转速从1~400mm/min可调,机构采用反馈调节，可自动纠正转速偏差，保证样品的速度稳定不走样
成品质量好
具有基本温度低、沉积速率快、成膜质量好、针孔较少、不易龟裂等优点
更好的沉积效率
PECVD比普通CVD具有更高的化学气相沉积速率、更好的均匀性、一致性和稳定性
技术参数
产品名称 卷对卷PECVD系统
产品型号 KJ-T1200-JCY
1200℃双温区管式炉
加热温区 双温区 200mm+200mm(其他尺寸可根据客户需求定制)
工作温度 ≤1200℃
控温精度 ±1℃
控温方式 AI-PID 30段工艺曲线，可存储多条
炉管材质 高纯石英
炉管尺寸 φ80mm x 1400mm L(其他尺寸可根据客户需求定制)
密封方式 不锈钢真空法兰
工作气体 氮气、氩气、氧气等非腐蚀性气体
极限真空度 10^-1Pa
三路质量流量计
工作气体 氮气、氩气、氧气等非腐蚀性气体
真空泵 旋片式真空泵
极限真空度 10^-1Pa
三路质量流量计 阀门类型 不锈钢针阀
气路数量 三路
承压范围 0.05~0.3MPa
量程
1~100 SCCM(Ar)
1~200 SCCM(H2)
1~500 SCCM (CH4)
流量控制范围 ±1.5%
S射频电源
输出功率 500W
输出精度 ±1%
射频频率 13.56MHz
射频稳定度 ±0.005%
冷却方式 风冷
386 
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