设备介绍
KJ-T1200-S60LC-H2
石墨烯制备机是由KJ-T1200开启式滑轨管式炉、真空系统、质量流量计气路系统、等离子电源系统组成。数字质量流量控制系统是由多路质量流量计，流量显示仪等组成，实现气体的流量的精密测量和控制;炉管连接部分采用KF快速法兰密封，装卸方便快捷;管路采用世界卡套连接，不漏气;触屏操作，操作简单方便。这款PECVD等离子沉积设备可适用于石墨烯生长等。
产品优势
成品质量好
具有基本温度低、沉积速率快、成膜质量好、针孔较少、不易龟裂等优点
更好的沉积效率
PECVD比普通CVD具有更高的化学气相沉积速率、更好的均匀性、一致性和稳定性
真空可达10Pa
真空系统由旋片
真空泵和进口数显真空计组成，最高真空可达10Pa
技术参数
产品名称 石墨烯生长炉PECVD设备
开启式滑轨管式炉部分
产品型号 KJ-T1200-S60LC-H2
炉管尺寸 直径60mm*长度1600mm(其他尺寸可根据客户需求定制)
加热区长度 300mm(其他尺寸可根据客户需求定制)
工作温度 ≤1100℃
最高温度 1200℃
温控方式 N型热电偶
控制方式 温度控制系统采用触屏操作，人工智能调节技术，具有 PID 调节、自整定功能并可编制 30 段升降温程序;
控温精度 ±1℃
温控保护 具有超温和断偶保护功能
升温速率 建议≤10℃/min
加热元件 含钼电阻丝
密封系统 该炉炉管与法兰之间采用硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸，气密性好。
炉体结构 滑轨结构，可以实现快速降温
炉 管 石英炉管
真空系统部分
名称 真空系统
主要参数
采用旋片真空泵和进口数显真空计组成，真空度可达10Pa
名称 四路质量流量计
主要参数 四通道精密质量流量计：触屏控制，数字显示。
进出气口：4进1出
等离子电源部分
名称 500W等离子电源
功率范围 0-500W(连续可调)
工作频率 13.56MHZ+0.005%
冷却方式 风冷
售后服务 整机质保一年，终身保修(加热元件、密封圈等随机赠送配件不属于质保范围)
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