设备介绍
KJ-T1200 PECVD 是一种 PECVD(等离子体增强化学气相沉积)的管式炉系统，它由 500W 射频电源、带有 200毫米直径石英管的可拆分管式炉、
真空泵和三通道质量流量计气体流动系统组成。它可以混合 1-3 种气体用于 CVD 或扩散。
产品优势
成品质量好
具有基本温度低、沉积速率快、成膜质量好、针孔较少、不易龟裂等优点
更好的沉积效率
PECVD比普通CVD具有更高的化学气相沉积速率、更好的均匀性、一致性和稳定性
所需温度更低
PECVD对于化学气相沉积需要比普通CVD更低的温度
技术参数
型号 KJ-T1200 PECVD
等离子射频电源
输出功率 5 -500W可调，均匀性 ± 1%
RF频率 13.56 MHz ±0.005%
反射功率 最大 200W
冷却 空气冷却
管式炉部分
显示 LED
形式 分体式和上部可打开
连续工作温度 ≤1100℃
升温速率 建议：0~10℃/min
温区长度 500mm(其他尺寸可根据客户需求定制)
加热元件 含钼电阻丝
热电偶 N型
温度均匀性 ±1℃
炉管尺寸 200m外径 *长度1600mm
(其他尺寸可根据客户需求定制)
材质：石英管
温度控制 通SCR功率控制进行 PID 自动控制
加热曲线 30步可编程
法兰 不锈钢带阀真空法兰
362 
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