设备介绍
KJ-T1200 CVD是一种管式炉，配备100mm直径石英管、
真空泵和五通道质量流量计气体流动系统。 它可以混合1-5种气体用于CVD或扩散。该CVD高温管式炉主要用于大学，科研机构和生产企业进行气相沉积相关的实验与生产。
产品优势
PID智能温控
控温系统采用PID方式调节，可以设置30段升降温程序，控温精度可以达到±1℃
高纯石英炉管
炉管采用高纯石英材质，耐高温耐酸碱腐蚀，高透明材质，便于观察反应情况
触屏智能操控
采用触屏操作系统，数据可存储可通过EXCEL输出
技术参数
产品名称 1200度CVD设备
型号 KJ-T1200
管式炉部分
显示 7”液晶触摸屏
最高温度 1200℃
工作温度 ≤1100℃
升温速率 0~10℃/min
温区长度 440mm(其他尺寸可根据客户需求定制)
加热元件 钼电阻丝
热电偶 N型
温度控制精度 ±1℃
炉管 100 x 1000mm (外径 x 长度)
(其他尺寸可根据客户需求定制)
材质：石英管
温度控制 通过可控硅功率控制进行PID自动控制
加热曲线 30 步可编程
真空法兰 不锈钢真空法兰。
法兰的一端有 1 个带刺针阀，安装有机械压力表。
法兰的另一端有一个带倒钩针阀的 KF25 端口
真空泵 旋片真空泵 极限真空 10-3 托。
管内的真空度约为 10-1 Torr。
(RM温度和空管条件)
流量：2L/S
包括数字真空计
质量流量计
带液晶触摸屏控制器
一个浮子流量计+五个精密质量流量计：
MFC 精度为：±1.5% F.S.
MFC 1 用于氮气：气体流量范围为 0~100 sccm
氢气用 MFC 2：气体流量范围 0~200 sccm
MFC 3 for methan : 气体流量范围为 0~300 sccm
氩气用 MFC 4：气体流量范围 0~400 sccm
氧气用 MFC 5：气体流量范围 0~500 sccm
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