设备介绍
KJ-T1200-S60K-4C型四路高温真空CVD设备由KJ-T1200滑动式快速退火管式炉+真空系统+供气系统组成 ，最高温度可以达到1200度，极限真空可以达到10-3Pa，供气系统是流量调节可以是质子流量计，可以对多种气体进行准确的混气，然后导入到管式炉内部。快速退火炉炉管两端安装真空法兰，真空度用分子泵可以到10-5Torr，机械泵可到10-3Torr。炉底安装一对滑轨，可用手动滑动。加为取得最快加热，可以预先加热炉子到设定的温度，然后移动炉子到样品位置。为获得最快冷却，可在样品加热后移动炉子到另一端，是低成本快速热处理的理想炉子。
产品优势
可快速加热和降温
炉底安装一对滑轨，可用手动滑动，是低成本快速热处理的理想炉子
三温区独立控温
三温区独立控温，可以在加热区内形成温度梯度或是形成较长的恒温区域
智能PID多段程序控温
控温系统采用PID方式调节，可以设置30段升降温程序，控温精度可以达到±1℃
技术参数
产品名称 四路高温真空CVD设备
产品型号 KJ-T1200-S60K-4C
工作温度 ≤1100°C
最高温度 1200°C
加热速率 建议：0- 10°C/min
加热区 三温区
加热区长度 200+350+200mm
(其他尺寸可根据客户需求定制)
控温精度 ±1°C
炉管直径 直径60mm，长度约1200mm-1400mm
(其他尺寸可根据客户需求定制)
真空法兰 两个不锈钢密封法兰，法兰上已经安装数字式真空显示计，和阀门通过机械泵真空压力可以达到5x10-2 torr，泄漏率可达6 mtorr/min
温控 智能PID多段程序控温
加热曲线 30段可编程
质子流量计 4路精密质子流量计：数字显示、气体流量自动控制。
MFC 1范围: 0~100 sccm
MFC 2范围: 0~200 sccm
MFC 3范围: 0~200 sccm
MFC 4范围: 0~500 sccm
气路:4路
流量精度: 0.2%
进气和出气接口: 1/4" 卡套
一个混气罐。
每路气路都有一个独立的不锈钢针阀控制。
通过控制面板上的旋钮来调节气体流量。
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