设备介绍
该立式双温区CVD系统主要由：1200度双温区管式炉、3通道质量流量计供气系统、2L/S抽速
真空泵及相关连接件组成;设备下方加装定向轮和万向轮，设备整体占地尺寸小并可灵活移动。该设备适用于CVD工艺，主要用于大学，研究中心和生产企业进行气相沉积相关的实验与生产。
产品优势
多段智能PID程序控温
控温系统采用PID方式调节，多段"时间—温度曲线"任意可设，可编程30步
立式可开启结构
双层壳体立式可开启结构，取放炉管方便，装有风冷系统,炉子外壳温度保持安全范围内
优良的动密封系统
不锈钢金属法兰，带阀门和相关接口，拆装方便，可抽真空，同时连接3种气源至微正压
技术参数
设备名称 立式CVD系统
设备型号 KJ-TCVD1100-S40CK2
流化床管式炉部分
最高温度 1200 ℃
工作温度 ≤1100℃
显示 LCD触摸屏
管径 外径40mm*长度1100mm(其他尺寸可按客户需求定制)
管材 高纯石英管
加热元件 优质电阻丝
加热速率 0~10℃/min
温度控制 •多段"时间—温度曲线"任意可设，可编程30步
•触屏多段智能PID程序控温 ，烧结数据可记录并以excel形式导出
•内置超温和热电偶故障保护
热电偶 N型热电偶测温
密封方式 定制不锈钢真空法兰一套含密封
炉膛 双层钢制外壳，带双冷却风扇，双温区立式开启结构，取放炉管方便
真空法兰 带阀门的不锈钢真空法兰
供气系统：3路质量流量控制系统
气体通道 可同时连接3种气源至微正压
流量计 质量流量计(可选其他量程)
气路压力 -0.1～0.15 MPa
截止阀 不锈钢材质
气路连接管 1/4不锈钢管
真空泵+真空计系统
真空泵 真空泵配硅胶软管可快速置换炉管内气体
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