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KLA的Filmetrics系列利用光谱反射技术实现薄膜厚度的精确测量,其测量范围从nm-mm,可实现如光刻胶、氧化物、硅或者其他半导体膜、有机薄膜、导电透明薄膜等膜厚精确测量,被广泛应用于半导体、微电子、生物医学等领域。Filmetrics具有F10-HC、F20、F32、F40、F50、F60-t等多款产品,可测量从几mm到450mm大小的样品,薄膜厚度测量范围1nm到mm级。FilmetricsF10-RT以真空镀膜为设计目标,只要单击鼠标即可获得反射和透射光谱。
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上海阜力测量设备有限公司宇舟手自动一体金属制样机是专为金属试样制备设计的多功能设备,集成手动操作与自动控制双模式,支持切割、磨削、抛光等全流程制样,适用于冶金、机械制造、科研院校等领域,为金相显微观察、硬度测试等检测提供高效、精准的试样制备解决方案。
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Duranmin-40涵盖了Struers微观/宏观硬度测试仪的基本载荷范围。此测试仪配有手动和电动XY载物台和一个全景相机。Duramin-40有三个载荷范围,10gf–10kgf、10gf–31.25kgf和1gf–62.5kgf。测试仪包含带有立显示器的集成计算机,可以使用触摸屏或鼠标进行操作。还可以选择使用双显示器。测试循环是完全自动的,标配电动6位转台。附加模块包括Kc断裂测量,映射和焊接测量。
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美国Molecular Vista推出的全新一代散射式扫描近场光学显微镜(Vista-SNOM)基于光诱导力显微镜(PiFM)技术,通过检测探针与样品之间的偶极相互作用直接获得样品表面的场强分布,无需远场光学探测器,避免了远场信号干扰。该技术无缝适应紫外到射频范围,简化了传统SNOM的复杂配置。Vista-SNOM不仅在PiFM模式下提供与模拟结果高度吻合的场强测量,还具备s-SNOM模式,使科研人员能够对比分析两种模式下的场强结果,是研究纳米光子学、表面等离激元、二维材料及范德华异质结构等领域的有力工具。
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KLA的Filmetrics系列利用光谱反射技术实现薄膜厚度的精确测量,其测量范围从nm-mm,可实现如光刻胶、氧化物、硅或者其他半导体膜、有机薄膜、导电透明薄膜等膜厚准确测量,被广泛应用于半导体、微电子、生物医学等领域。Filmetrics具有F10-HC、F20、F32、F40、F50、F60-t等多款产品,可测量从几mm到450mm大小的样品,薄膜厚度测量范围1nm到mm级。FilmetricsF50系列的产品能以每秒测绘两个点的速度快速的测绘薄膜厚度,配备R-θ较为坐标标准和订制化样品盘,样品直径可达450毫米。
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宇舟无极调速金相试样单盘磨抛机YMP-1是上海阜力测量设备有限公司代理的金相试样制备设备,采用单盘设计配合无极调速技术,通过手动或自动控制实现试样磨削与抛光的灵活操作,适用于金属、陶瓷等材料的金相试样制备,为材料检测、质量控制及科研分析提供高效、均匀的试样处理解决方案。
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Zeta-20台式光学轮廓仪是非接触式3D表面形貌测量系统。该系统采用ZDot™技术和Multi-Mode(多模式)光学系统,可以对各种不同的样品进行测量:透明和不透明、由低至高的反射率、由光滑至粗糙的纹理,以及纳米至毫米级别的台阶高度。
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KLA的Filmetrics系列利用光谱反射技术实现薄膜厚度的精确测量,其测量范围从nm-mm,可实现如光刻胶、氧化物、硅或者其他半导体膜、有机薄膜、导电透明薄膜等膜厚精确测量,被广泛应用于半导体、微电子、生物医学等领域。Filmetrics具有F10-HC、F20、F32、F40、F50、F60-t等多款产品,可测量从几mm到450mm大小的样品,薄膜厚度测量范围1nm到mm级。F40用于测量光斑<1µm的薄膜膜厚。
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威而信高精度自动调心圆度仪CA35CNC是上海阜力测量设备有限公司代理的高端圆度测量设备,集成自动调心技术与CNC控制系统,可精准测量圆柱、圆锥等回转体零件的圆度误差,适用于轴承、汽车零部件、精密机械等行业,为质量控制与工艺优化提供高效、自动化的测量解决方案。
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KLA先进的探针式台阶仪Alpha-StepD-600,可测量纳米级至1200um台阶高度,并可分析薄膜表面粗糙度、波纹度、应力。且其具有5.0A(1σ)或0.1%台阶高度重复性以及亚埃级的分辨率。
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KLA公司全系列的力学测试产品均采用电磁驱动原理的加载力激发器,iNano台式纳米压痕仪。对纳米压痕物理模型和优线性特性的电磁力驱动原理的深刻理解,以及良好的灵敏度的三片式电容传感器的设计,保证全系列纳米力学产品在整个量程范围内均能得到高精准、高分辨的控制。50mN载荷范围,3nN加载精度,0.002nm位移精度。
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Park XE-15大样品台工业原子力显微镜是专为共享实验室、多变量实验和晶片失效分析设计的高性能设备。它具备100μm×100μm的XY柔韧导向扫描范围和12μm(可选25μm)的挠性导向强力Z扫描,配备滑动连接的超亮二级管头和多样品夹头。此外,选配的编码器XY自动样品载台和垂直对齐的电动Z载台及聚焦载台,进一步提升了操作的便捷性和成像效率。6寸样品台的设计使其能够容纳较大尺寸的样品,实现多样品一次性自动成像,提高数据精确性和稳定性,满足多样化的研究需求。
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2026年01月23日 ~ 24日
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