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周期极化LNOI脊型波导及其制备方法

1222   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 23:23:21
本发明公开了一种周期极化LNOI脊型波导,整体结构从基底自下而上包括:硅或铌酸基底(5)、二氧化硅缓冲层(4)、金电极层(3)、半导体有机高分子层(2)和周期极化铌酸锂脊型波导(6)。与现有技术相比,本发明的技术效果包括:1)很大程度上降低了生产难度,提高了成品率;2)显著降低了波导的传输损耗;3)使多功能光电子器件的集成更容易实现;4)使器件获得更多的非线性效应;5)实现了PP‑LNOI波导和频、差频功能;6)为进一步设计和制作实用化的频率变换器件奠定基础,推动基于LNOI平台的集成光路和器件向实用化方向迈进,为下一代光电混合集成芯片的研发提供支撑。
声明:
“周期极化LNOI脊型波导及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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