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利用激光烧蚀涂层产生包含锂的材料层或多层结构的方法

1210   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 22:29:35
在本发明中,引入了一种用于制造用于电化学储能装置的材料的方法,使得基于激光烧蚀的沉积方法被用于制造至少一个包含的材料层。该方法的特征在于,使用从激光烧蚀生成的电磁辐射的光谱中获得的测量信息来控制该工艺。在沉积中可以使用所谓的辊对辊方法,其中将待涂覆的基底(15、32、44、64、75、85)从一个辊(31a)引导至第二辊(31b),并且沉积发生在辊(31a‑b)之间的区域。此外,转动和/或移动反射镜(21)可用于将激光束(12、41、71a‑d、81a‑d)作为光束线阵列(23)引导至靶材(13、42a‑b、72a‑d、82a‑d、82A‑D)的表面。
声明:
“利用激光烧蚀涂层产生包含锂的材料层或多层结构的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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