本发明涉及一种高沉积速率制备
锂离子固体电 解质薄膜的方法。它采用脉冲激光沉积法与氮离子源发生器相 结合制备氮化的Li3PO4薄膜，简称锂磷氧氮(LiPON)，沉积速率快，每小时可达0.8～2.0μm。采用本发明制备的锂磷氧氮薄膜，其Li离子传导率可达2～5×10－6s/cm。结合V2O5和MoO3等其它薄膜电极与热蒸发制备的
金属锂薄膜电极可组装成全固态薄膜锂离子电池，该电池具有良好的充放电性能。
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来源：北方有色网
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