本发明涉及一种研磨用组合物，其特征在于，其用于研磨包含金属或半金属的氧化物或者它们的
复合材料的研磨对象物的表面，且至少含有水和二氧化硅，二氧化硅包含粒径为20nm以上且70nm以下的小粒径二氧化硅和粒径为100nm以上且200nm以下的大粒径二氧化硅，小粒径二氧化硅在前述研磨用组合物中含有2质量％以上，大粒径二氧化硅在研磨用组合物中含有2质量％以上，大粒径二氧化硅的平均粒径除以小粒径二氧化硅的平均粒径的值为2以上。
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“研磨用组合物、研磨方法以及硬脆材料基板的制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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