本发明涉及一种制备高纯纳米
多晶硅颗粒的装置及制备高纯纳米多晶硅颗粒的方法，首先利用电子束熔炼法制备晶粒为纳米级别、疏松多孔的高纯气相沉积硅；然后行星式球磨机球磨气相沉积硅，获得纳米多晶硅颗粒；把纳米多晶硅颗粒与水混合，搅拌、超声沉淀去除较大颗粒；舍去沉淀在底部较大颗粒的硅泥，取上层悬浮液倒入离心管，置于高速离心机分离；把沉淀在离心管底部的硅颗粒置于真空干燥箱干燥，得到粒径小于500nm，且D50≤100nm的多晶硅颗粒，该方法解决了目前纳米硅颗粒结晶性差、纯度低的问题，提高了生产效率，制备的硅颗粒纯度高、结晶性良好、粒径分布窄。
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来源：北方有色网
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