一种三明治结构多层薄膜及其制备方法，属于
功能材料技术领域。所述三明治结构多层薄膜包括薄膜A、薄膜B交替形成的(2n+1)层薄膜；当所述薄膜A为KMgBST或BST薄膜时，所述薄膜B为ST薄膜；当所述薄膜A为ST薄膜时，所述薄膜B为KMgBST或BST薄膜；所述BST薄膜、KMgBST薄膜和ST薄膜的厚度为80～160nm。本发明多层薄膜在低偏压下具有高调谐率和低介电损耗的优异综合介电性能，在高偏压下具有高的绝缘强度和长的使用寿命；且本发明中ST层薄膜能为BST薄膜提供形核位置，促进薄膜形核生长，为下一层薄膜的生长提供模板，从而形成致密的非晶结构及良好的表面形貌。
声明：
“三明治结构多层薄膜及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
915
编辑：管理员
来源：北方有色网
咨询细节
