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一种三氯氢硅合成炉停炉后废硅粉回收系统

1309   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 06:02:13
本实用新型提供一种三氯氢硅合成炉停炉后废硅粉回收系统,通过设置进料管线和卸料管线,并借助真空泵,将三氯氢硅合成炉内的废硅粉输送至分离器中,一方面,实现了废硅粉的封闭式回收,避免了硅粉与空气中氧气和水分接触,保证的硅粉的活性,也降低了闪爆的危险,提高安全性;另一方面,降低人工劳动强度,保护了职工身体健康;通过分离器对废硅粉中的大颗粒的硅粉与小颗粒的硅尘进行分离,将大颗粒的硅粉输回收至三氯氢硅合成炉内,避免将失去活性的小颗粒硅尘带入三氯氢硅合成炉内,能够延长三氯氢硅合成炉的检修周期;该废硅粉回收系统结构简单,易于操作。
声明:
“一种三氯氢硅合成炉停炉后废硅粉回收系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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