本发明提供一种装设于半导体废气处理设备中的粉尘过滤器，涉及粉尘过滤器技术领域。该装设于半导体废气处理设备中的粉尘过滤器，包括过滤器外壳，所述过滤器外壳的内部活动安装有腔体，所述腔体的左侧外表面连通有进气管，所述进气管的外表面固定安装有第一气泵，所述腔体的一侧设置有集尘槽，所述集尘槽的内部固定安装有静电吸附板。该装设于半导体废气处理设备中的粉尘过滤器，很好地对废气中的粉尘进行了过滤，并对粉尘进行收集，防止粉尘对设备内部和外部造成污染，以及对人体造成危害，能够对集尘槽内部的粉尘进行集中清理，以及便于对该粉尘过滤器进行维护检修，拆装简单便捷。
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来源：北方有色网
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