本实用新型公开了半导体行业切割废水回用为超纯水的处理系统,它包括彼此之间通过连接管路依次串联相连的微孔过滤器、混凝沉降装置、清水箱、超滤系统、紫外线消毒系统、一级反渗透系统、脱气装置、二级反渗透系统、中间水箱、连续电去离子系统和产水水箱,在紫外线消毒系统和一级反渗透系统之间的连接管路上通过加药管线连接有加药系统并装有第一反渗透进水泵,中间水箱的进水口通过中间水管路与脱气装置的出水口相连。采用本系统可得到电阻高达18MOhm-cm以上的高品质纯水。该套系统整体回收率高达75%,整体投资成本较低。
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来源：北方有色网
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