本发明是利用离子注入制备光学晶体的脊形光波导的方法,该方法离子注入、光刻胶掩膜制备和Ar离子束刻蚀。采用能量为2.0-5.0MeV的离子注入到光学晶体的表面,在形成的平面光波导上制备掩膜,用Ar离子束进行刻蚀,能够在光学晶体表面形成脊形光波导;用氧离子和硅离子等注入铌酸
锂和偏硼酸钡等非线性光学晶体能够形成增加型的脊形光波导;用氦离子或者氢离子注入多数光学晶体能够形成位垒型脊形光波导。所形成的脊形光波导可以保持较好的非线性光学特性。脊形光波导的厚度、脊背的宽度、深度以及导波模式可以由工艺参数控制。采用本发明可以制作光开关、光调制器等光电子器件。
声明：
“离子注入制备光学晶体的脊形光波导的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
867
编辑：管理员
来源：北方有色网
咨询细节
