本发明是利用离子注入制备光学晶体的脊形光波导的方法,该方法离子注入、光刻胶掩膜制备和Ar离子束刻蚀。采用能量为2.0-5.0MeV的离子注入到光学晶体的表面,在形成的平面光波导上制备掩膜,用Ar离子束进行刻蚀,能够在光学晶体表面形成脊形光波导;用氧离子和硅离子等注入铌酸
锂和偏硼酸钡等非线性光学晶体能够形成增加型的脊形光波导;用氦离子或者氢离子注入多数光学晶体能够形成位垒型脊形光波导。所形成的脊形光波导可以保持较好的非线性光学特性。脊形光波导的厚度、脊背的宽度、深度以及导波模式可以由工艺参数控制。采用本发明可以制作光开关、光调制器等光电子器件。
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来源：北方有色网
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