根据本发明的清洗装置具有:清洗部(121),具有气穴喷射装置,在保持基本水平的状态,在沿纵向输送的带状金属薄板的上面及下面,喷出对该带状金属薄板是惰性的清洗液,在上述金属薄板的表面附近发生气穴,进行急速的清洗;第1防漏密封部(124),设置在所述清洗部的前段,制约该金属薄板的位置,而且防止所述清洗液在与该金属薄板输送方向相反方向漏出。采用这样的清洗装置进行腐蚀后的清洗,由此可以急速地稀释除去残留于光刻胶膜檐部内侧的腐蚀液,因而可以防止开孔尺寸、形状的偏差。
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来源：北方有色网
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