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厚度方向激励剪切模式的声学谐振器

1029   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 23:40:21
本实用新型涉及一种厚度方向激励剪切模式的声学谐振器,包括:声学镜,包括至少一第一声反射层和至少一第二声反射层,各所述第一声反射层的声阻抗小于各所述第二声反射层的声阻抗;底电极层,位于所述声学镜上;压电层,设于所述底电极层上,所述压电层包括单晶材料的铌酸和/或单晶材料的钽酸锂;电极单元,设于所述压电层上;横向反射器,设于所述压电层上,所述横向反射器用于对声波进行横向反射;其中,所述底电极层和电极单元用于形成电场。本实用新型可以在3GHz以上的频率下具有高机电耦合系数和高Q值。
声明:
“厚度方向激励剪切模式的声学谐振器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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