本发明提供的是一种全固态薄膜电池中的
负极材料CRN及其制备方法。溅射腔由一个涡轮分子泵和一个机械泵抽真空直到小于0.5MPA,采用金属铬作为溅射靶,氮气作为反应气体,不锈钢片和/或玻璃为基片,气体压强保持在0.2PA-3.0PA,溅射电源的功率为30瓦-200瓦,并且保持基片与靶之间的距离为5厘米-10厘米,基片温度为100℃-400℃,溅射沉积时间为1-20小时形成CRN薄膜。CRN薄膜是一种新型的负极材料,可应用于全固态薄膜
锂离子电池。具有比容量高,循环寿命长,不可逆容量损失少等优点。
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来源：北方有色网
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