本发明涉及全固态薄膜
锂离子电池相关靶材及其制造方法。该方法主要包括选料、烧结前处理、热压烧结、靶材后处理等步骤组成，可以制造的靶材有：LiCoO2、LiFePO4、Li3PO4等。该方法使用石墨模具，用钼箔做模具与靶材的隔离材料，上下表面均用钼箔作为保护。预压1～5MPa，抽真空至10?3Pa，以10～15℃/min的速度加热至100～400℃，保温0.5h～1h，充入氩气。然后以10～15℃/min的速度加热至400℃～1000℃，逐步升温，加压，最终的烧结压力为20～60MPa，保温1～5h。保压随炉冷，取出将表层磨掉。该方法能够获得高纯，高致密的全固态薄膜锂离子电池用靶材，工艺过程设计简单易行，成本较低。
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来源：北方有色网
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