本发明涉及一种全固态高循环寿命薄膜
锂电池及制作方法,其特征在于薄膜锂电池组成为:①在玻璃衬底表面溅射一层Al薄膜;②在Al薄膜表面溅射沉积一层氮化
镍钴薄膜,作为阳极薄膜,氮化镍钴薄膜的组成通式为ComNi1-mN(0
金属锂薄膜;⑤在Li薄膜沉积Ni薄膜作为阴极集电极;⑥在Li薄膜表面覆盖封装后,且分别在阴极和阳极集电极处引出Au处。且具有制备工艺简单,不需要高温退火过程,电池按国标测定充放电循环次数达1500次,且保持电池容量80%,且可通过沉积多层膜方法实现高电压输出,在微能源、传感器以及网络方面有广泛应用。
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