提供一种用于半导体制造装置的静电吸盘组件,其可用水冷却,并且不发生穿透泄漏。通过调节Cu基
复合材料中的具有大的热膨胀系数的Cu和Ni以及具有小的热膨胀系数的W和Mo的比,可以得到具有与用于静电吸盘的
氧化铝材料相同的热膨胀系数的高热导材料。但是,由于该复合材料具有穿透泄漏,不能在真空系统中使用。根据本发明,通过进行锻造处理,可防止击穿泄漏。同时,通过电镀或溅射施加Ni、Cr或Cu膜可改进对冷却板来说很重要的耐腐蚀性。
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来源：北方有色网
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