设备介绍
该高温化学气相沉积系统的工作温度为300℃至1600℃，配备
真空泵，气体混合装置。采用温度控制系统，高温精度，出色的气体流量精度，易于操作，出色的隔热效果和温度均匀性。 主要用于大学，科研机构和生产企业进行气相沉积相关的实验与生产。
产品优势
刚玉材质炉管
炉管采用刚玉材质，工作温度可达1600度，具有高温稳定性和耐腐蚀性，加热均匀性好
PID自动温控
控温系统采用PID方式调节，可以设置30段升降温程序，控温精度可以达到±1℃
良好的气密系统
炉管与法兰之间采用硅胶O型圈挤压密封、密封性强，法兰带阀门和相关接口，可抽真空通气氛
技术参数
产品名称 高温化学气相沉积系统
产品型号 KJ-CVD-1700-60*300-F3
加热部分
显示 LED
最高温度 1700℃
工作温度 ≤1600℃
升温速率 建议: 0~10℃/min
加温温区 300mm(其他尺寸可根据客户需求定制)
加热元件 硅钼棒
热电偶 B 型
控温精度 ±1℃
炉管尺寸 60 x 900mm(其他尺寸可根据客户需求定制)
刚玉管
温度控制 PID自动控制
升温速率 30段可编程
最大工作压力 0.02MPa
真空部分
真空泵总成 (旋转叶片泵+扩散泵) 冷态极限真空6.67*10-3Pa。
真空测量 复合真空计。
真空法兰 带阀和针的不锈钢真空法兰
质量流量计(3条气体路线Ar、H2、CH4)
流量范围 (20, 30, 50, 100, 200, 300, 500) SCCM
输入电压信号 0 V ~ +5.00 V
输出电压信号 0 V ~ +5.00 V
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