设备介绍
此款定制高温气相沉积系统由高温沉积室、升华室、供气系统及真空系统组成。该CVD高温管式炉主要用广泛应用于半导体工业中沉积薄膜材料，包括大范围的绝缘材料，以及大多数金属材料和金属合金材料、二维材料等，如
碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。
产品优势
超温保护和报警
有超温保护和报警，及过热和热电偶断裂保护功能，允许在无人值守的情况下运行
30段智能PID程序控温
控温系统采用PID方式调节，可以设置30段升降温程序，控温精度可以达到±1℃
法兰采用双环密封技术
有效的提高了法兰的气氛性，法兰上装有多种接头，可接电阻真空计、真空波纹管并能做成容易撤卸的铰链式
技术参数
产品名称 定制高温CVD系统
沉积炉
产品型号 KJ-T1500CVD-DZ
炉膛模式 开启式
加热元件 U型硅钼棒
极限温度 1600℃高温区
工作温度 ≤1500℃高温区
升温速率 ≤10℃/min
加热温区 单温区、双温区、多温区，可根据需求选择
温区总长度 200mm、300mm、400mm可选
(其他尺寸可根据客户需求定制)
炉管材质 刚玉管
炉管直径 40mm、50mm、60mm、80mm、100mm可选
(其他尺寸可根据客户需求定制)
密封方式 定制不锈钢真空法兰一套(含密封硅胶圈)
底部法兰有三个进气口 方便进气
底部法兰加支架 方便工件放在沉积炉低温区
控制模式 每个温区单独 30段智能PID程序控温
温度曲线 多段"时间—温度曲线"任意可设
测温元件 B型双铂铑热电偶
供气系统 集成在控制柜上
气体通道 可同时连接多种气源
流 量 计 浮子流量计
A路量程 1L/MIN
B路量程 1L/MIN
C路量程 1L/MIN
气路压力 -0.1～0.15 MPa
截止阀 不锈钢材质
气体连接管 1/4不锈钢管
气化炉A、B
最高温度 700℃
工作温度 ≤500℃
炉膛尺寸 定制
开门方式 上开
进气口 一个进气口
出气口 一个出气口
售后服务 12个月质保(易耗件及人为损坏除外)，终身保修
407 
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