本实用新型提供一种微光显微镜装置，其特征在于，包括：微光显微镜、光路装置、光探测装置及探针，其中，所述光路装置包括呈预设夹角的第一光反射面以及第二光反射面，待测样品设置于所述第一光反射面的上方，所述光探测装置设置于所述第二光反射面的上方，所述待测样品的激发光从待测样品的背面发出，并经由所述第一光反射面以及第二光反射面反射后，入射至所述光探测装置内。本实用新型在待测样品不需要做任何调整的情况下，同时兼备正面EMMI分析功能和背面EMMI分析功能，操作方便，适用性广，有效降低了
芯片失效分析成本并提高分析效率。而且，本实用新型都是从正面下探针，进一步提高了操作的便利性和工作效率。
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来源：北方有色网
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