一种一体型研磨垫,包括弹性支持层和形成在所述弹性支持层的上方且硬度比所述弹性支持层的硬度更高的研磨层,且所述弹性支持层和所述研磨层是由相互之间具有化学相溶性的材料构成,在所述弹性支持层和所述研磨层之间不存在结构性边界部。另外,本发明的研磨垫具备对被研磨对象的表面状态检测用光源透明且与其他的研磨垫的结构部件成为一体型的透明区域。由于本发明的研磨垫的平坦化效率高、研磨垫的物性均匀,所以在研磨工序中可稳定地使用。另外,不会发生研磨料浆的沉积,移动和输送容易,并成为一体型,所以不需要用于连接各结构部件的粘接剂或连接工序,从而制造工序变简单。
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来源：北方有色网
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