本实用新型公开了一种加热器底座,包括座体,所述座体内开有两个供加热导体穿越的第一通孔、供接地导体穿越的第二通孔,所述座体的下部对应所述第二通孔的部分开有用于露出所述接地导体下部的凹口。还公开了一种采用上述底座的加热器。通过在加热器的底座的下部对应所述第二通孔的部分开有用于露出所述接地导体下部的凹口,从而腾出空间在接地导体的外图绕置金属片,并金属线将金属片和底座相连从而有效增大了接地导体的接地面积,有效减少了接地导体发生电弧放电的概率,进而有效避免了高频发生器反射能量的不稳定造成晶圆报废的危险。同时,也减少更换零部件的成本,减少更换零部件的维修时间,有效提高了生产效率。
声明：
“加热器底座及加热器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
868
编辑：管理员
来源：北方有色网
咨询细节
