一种硅料清洗剂,包括了清洗剂SX1和清洗剂SX2两部分；所述清洗剂SX1由柠檬酸、乙酸、甜菜碱和高纯水配置组成，质量比为柠檬酸0.5‑1份、乙酸0.2‑0.5份、甜菜碱0.5‑1.0份、余量为高纯水；所述清洗剂SX2由氢氟酸配置去离子水制成，质量比为氢氟酸5份、余量为去离子水。有益效果在于：所使用的酸均为弱酸，不会对操作人员产生危害，安全性高；在对硅料的清洗过程中不会产生氮氧化物，对硅料表面伤害小，对环境不会产生污染，清洗后的废液酸性弱，容易处理。
声明：
“硅料清洗剂” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
1000
编辑：管理员
来源：北方有色网
咨询细节
