本实用新型涉及
太阳能电池片制造技术领域，尤其涉及一种用于晶体硅太阳能超净车间扩散炉的石英管内的废气的排废管。其包括直管，所述直管一端连接有第一半球形管，另一端伸入扩散炉废气口，所述直管中部还设有第二半球形管与扩散炉废气口相连，且第二半球形管的尾部与直管之间存在缝隙，所述第二半球形管的尾部设置有供气体输入的导气管，所述导气管与直管之间的夹角α大于等于30°小于等于90°。本实用新型能够减少偏磷酸在排废管处凝结，与传统的硅片尾气排废管相比，解决了排废管的腐蚀断裂，增加了排废管的使用寿命，减少了人员的工作劳动，有利于提高设备的正常运行率，同时也有利于降低偏磷酸对人体的危害。
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来源：北方有色网
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