一种半导体级氨水及硫酸回收循环制造方法，将半导体工业产生的大量废酸液及硫酸铵回收处理导入一混合炉加热，以产生混合气体及混合液体，再制得高纯度氨水及高纯度硫酸，供半导体工业使用。该混合气体包括氨气及水气经纯化后，产生高浓度的纯氨气，再用超纯水吸收以产生一半导体级氨水。而混合液体则包括废硫酸及水，导入一分解炉产生SO
2气体；通过一含有催化剂的反应器，后经一连串有效反应处理，以产生无金属的高纯度SO
3气体，再加入一惰性气体将SO
3气体稀释，并与高纯度硫酸混合，过滤除去其固体杂质，即得一半导体级硫酸。
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来源：北方有色网
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