本发明提供一种回收利用硅切割废砂浆及硅渣的方法和所用装置，本发明的方法主要是将硅切割废砂浆分离出的固体硅渣与卤素气体、卤化氢气体或氢气进行气化反应，生成卤
硅烷或硅烷，集硅切割废渣的分离与有效转换利用合为一体，同时生产出高附加值的工业原料，并可进一步利用反应余热进行原料干燥和产品精馏提纯，实现了硅切割废砂浆大型、高效、节能、连续和低成本完全循环利用。
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“回收利用硅切割废砂浆及硅渣的方法及所用装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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