本发明涉及硅晶圆线切割领域,公开了一种硅晶圆线切割废砂浆中聚乙二醇和
碳化硅回收利用的方法,它将单晶硅片加工工艺中的线切割废砂浆先添加降黏剂,进行固液分离得到悬浮液部分和固体颗粒部分。对于悬浮液部分添加助滤剂,然后板框压滤、微孔过滤、中空纤维超滤、离子交换,最后将悬浮液真空蒸馏,回收聚乙二醇。对于固体颗粒依次进行碱反应清洗、水洗塔水洗、离心分离、酸反应清洗、再次水洗塔水洗、离心分离、酸反应清洗、干燥和干法分级,最后得到可循环使用的碳化硅颗粒。
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“硅晶圆线切割废砂浆中聚乙二醇和碳化硅的回收方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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