本实用新型涉及一种
硅烷类合成尾气回收装置，其包括进气缓冲罐、合成炉、第一冷凝器、尾气缓冲罐、
隔膜压缩机、第二冷凝器以及进压缩尾气缓冲罐；其中，所述进气缓冲罐、合成炉、第一冷凝器、尾气缓冲罐、隔膜压缩机、第二冷凝器、进压缩尾气缓冲罐和合成炉依次通过管道连接；所述进气缓冲罐和合成炉之间的管道上设有一自动调节阀。本实用新型的硅烷类合成尾气回收装置具有结构简单、成本低、稳定可靠且不会产生新的废水等诸多优点。
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“硅烷类合成尾气回收装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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编辑：管理员
来源：北方有色网
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