本发明公开了一种可改善设备的工作效率的传感器单晶硅蚀刻装置，其结构包括主机体、排气设备、冲洗设备、电动杆、传动装置、排水管、加工仓，所述主机体的顶部设有排气设备，所述排气设备通过螺栓和主机体固定连接，所述主机体的左部设有冲洗设备，所述冲洗设备通过连接管与加工仓连接，所述加工仓通过焊接固定在主机体的内部，所述加工仓的底部设有排水管，所述排水管上设有阀门，所述加工仓通过排水管连接至废水管，可以有效的控制设备的刻蚀时间，防止刻蚀时间或者刻蚀浓度的差异导致的良品率不稳定的问题，提高了设备的工作的稳定性和可靠性，提高了设备的经济效益。
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来源：北方有色网
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