本发明涉及一种产生大体积大气压等离子体的三电极装置，包括有同轴介质管、接地平板水电极、钨针电极和低温等离子体发生电源；同轴介质管为带轴向中心内腔且截面呈U形的双层管状密闭容器体，在密闭容器体的侧壁上开有灌注工作气体用的进气口；钨针电极从同轴介质管的封口端穿入同轴介质管的中心内腔中，其前端位于同轴介质管中心内腔的敞口端处，其后端与低温等离子体发生电源的输出电极电连接；接地平板水电极位于同轴介质管敞口端的外侧，并与低温等离子体发生电源的接地电极电连接。本发明可用于制造等离子体灯、等离子体显示、薄膜产生以及表面改性等技术领域，还可生成臭氧，用于废水废气的处理、杀菌消毒和等离子体隐身等。
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来源：北方有色网
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