一种处理硅晶板切割废弃物的方法及装置,系由两阶段的连续步骤及利用装置所组成,整个方法包含第一阶段的固液分离步骤,以及第二阶段的液液分离步骤;第一阶段的固液分离步骤先将废弃物进行固液分离,固液分离后液体废弃物再利用一个三阶段的连续性的真空蒸馏步骤,包括一个二阶段的薄膜蒸发步骤,以及一个一阶段的分子蒸馏步骤,将液体废弃物中所含的废水、聚乙二醇、以及切削油(废油)加以精馏、分离、及回收;整个方法不仅可以达到资源回收再利用的目标,且可避免二次污染的产生。
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来源：北方有色网
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