本发明提供一种氯
硅烷尾气处理方法，包括以下步骤：1)废气冷凝预处理阶段，所述氯硅烷淋洗阶段中废气进入第一级淋洗塔，除去酸性气体；将废气中所含的氯硅烷气体温度降低到沸点以下，使得尾气中的大部分氯硅烷气体由气态转变成液态；余下未被冷凝的尾气等不凝性气体进行下一阶段处理；所述冷凝后的液态氯硅烷流到氯硅烷冷凝液储罐中，经冷凝液输送泵加压后输送到氢化储罐存储循环备用；2)氯硅烷淋洗阶段，经过冷凝预处理后的尾气进行二级淋洗除去大部分酸性气体，剩余尾气中主要成分为氢气，氮气等不凝性气体收集备用；淋洗后的废水进行下一段处理；3)废水处理阶段，淋洗后的废水经中和反应沉降为固态污泥排出。
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来源：北方有色网
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