本实用新型公开了一种硅片清洗设备的抽风通道,包括设置在设备箱体内部上方的抽风道,和穿透设备箱体上壁与抽风道连通的抽风口法兰;在抽风道侧壁上设有多个抽风孔及分别与抽风孔配合的风量调节板。本实用新型在抽风口法兰连接相应抽气设备后,抽风装置通过清洗槽面上方的抽风孔把操作区域的废气经抽风道及时抽走,补充新鲜空气进入设备内部;抽风道后部开有风道清理窗口,能满足人工清理整个抽风道内的结晶或粉尘的要求;另外,抽风通道内设有喷淋管,可自动定时清洗抽风道,废水由排放管道进入用户废水处理系统。
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来源：北方有色网
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