本实用新型公开了一种超纯水废水处理装置，包括依次经管路连通的缓冲水箱、增压泵、石英砂过滤器、活性炭过滤器、全自动软水器、袋式过滤器、中间水箱、中间水泵、精密过滤器、紫外线杀菌器、高压泵、一级RO装置，所述的缓冲水箱的进水管与超纯水生产系统的RO装置浓水侧连通，所述的一级RO装置的产水侧连通至超纯水原水箱。因为超纯水废水含盐多，本实用新型的水处理装置采用在缓冲水箱侧闭循环式加药并通过pH检测的方式判断缓冲水箱内水质盐类处理情况，同时辅以曝气装置提高反应效果，只有pH合格后才进行后续处理，有效提高了各级过滤处理效果。
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来源：北方有色网
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