本发明提出了一种Ni亚微米阵列的制备工艺。它先将基底和Ni靶材进行清洗预处理；然后在基底上沉积Ni层；接着对沉积后的模板进行热处理；最后用碱液溶解模板，除去模板后用去离子水洗涤，即可得到Ni亚微米阵列，与现有技术相比，本发明的有益效果是，本发明工艺所采用的是磁控溅射方法，工艺简单易行且重复性好，所需成本低，清洁环保，适合于规模化应用；所制得的Ni亚微米阵列高度有序，直径一致，并可以采用不同规格的AAO模板制备不同长度和直径的Ni亚微米阵列以满足实际需要；所制备的Ni亚微米阵列结构稳定，能够显著提高电极活性物质的比表面积，有效提高了
锂离子电池的
电化学性能。
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来源：北方有色网
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