本发明是一种高频表面声波元件,尤指一种可通过调整其所具的纳米钻石膜层的厚度而轻易地调整其中心频率的高频表面声波元件。本发明的高频表面声波元件包括:一硅基板;一纳米钻石膜层,是位于此硅基板之上;一压电层,形成于此纳米钻石膜层的表面;一输入转换部;以及一输出转换部;其中,此输入转换部与此输出转换部成对地设置于此压电层的表面或其下方。此外,前述的纳米钻石膜层的厚度较佳介于0.5ΜM至20ΜM之间,前述的压电层的材质较佳包括氧化
锌、氮化
铝或铌酸
锂,压电层的厚度则较佳介于0.5ΜM至5ΜM之间。
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来源：北方有色网
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