本发明公开了一种利用掺杂硅颗粒制备纳米多孔硅的方法，该方法包括选用一定掺杂浓度的硅颗粒，氢氟酸清洗后，选用硝酸盐、氢氟酸、氧化剂配制的溶液反应并进行超声辅助，再经离心清洗，最后通过稀硝酸清洗等后处理制备的三维纳米多孔硅。本发明通过大量实验筛选出，最佳的化学刻蚀腐蚀剂的组成，反应试剂的体积比和具体浓度，反应时间、反应温度、超声频率及处理时间具体的反应步骤等最佳工艺参数，制备得到的高纯度的三维掺杂多孔硅，孔形规则，布置均匀，可应用于
锂电池、
太阳能电池、半导体、传感器等领域。本发明整个工艺可操作性强，成本低廉，并且产量高，适合于工业化大生产。
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来源：北方有色网
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