本发明提供了一种利用含氟废弃物合成五氟化磷的方法，属于含氟废弃物回收再利用领域。该方法利用半导体集成电路制造及氢氟酸蚀刻处理玻璃中产生的含氟废弃物进行合理处理再利用合成五氟化磷，以用于新能源类产品
六氟磷酸锂的合成。本发明的方法变废为宝，并减少环境污染，拓展了五氟化磷及六氟磷酸锂合成原料的来源，降低了生产成本，并降低处理后排放废水废渣中氟含量，达到国家标准，避免造成严重的环境污染。
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来源：北方有色网
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