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收卷式成膜装置和收卷式成膜方法

727   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 23:02:48
本发明提供一种收卷式成膜装置,其具有真空容器、膜行进机构、源以及第一辊。上述真空容器能够维持减压状态。上述膜行进机构能够在上述真空容器内使膜行进。上述锂源能够在上述真空容器内使锂蒸发。上述第一辊被配置在上述膜的成膜面和上述锂源之间。上述第一辊具有接收从上述锂源蒸发的上述锂的转印图案。上述第一辊一边旋转一边将与上述转印图案对应的锂层的图案转印到上述成膜面。
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“收卷式成膜装置和收卷式成膜方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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