本发明提供用于制备无定形的硼硅酸
锂或掺杂硼硅酸
锂化合物的气相沉积方法，该方法包括：提供化合物的各组成元素的蒸气源，其中该蒸气源包括至少锂源、氧源、硼源和硅源、以及任选地至少一种掺杂剂元素的源；输送所述锂、所述氧、所述硼和所述硅、以及任选地所述掺杂剂元素的物流；和将来自蒸气源的组成元素共沉积在基底上，其中组成元素在该基底上反应以形成无定形化合物；其中无定形的硼硅酸锂或掺杂硼硅酸锂化合物具有在40‑65原子％范围内的锂含量，基于锂、硼和硅的组合的原子百分数计。
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来源：北方有色网
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