本发明了提供蚀刻硅以形成柱体的方法,所述柱体尤其用作Li离子电池中的活性阳极材料,该方法在工业规模下的运行简单,因为其使用仅含少量需要控制浓度的成分的蚀刻浴,并且其在运行上比之前的方法廉价。该蚀刻溶液包含:5至10M、例如6至8M?HF,0.01至0.1M?Ag+离子,0.02至0.2M?NO3-离子,和任选地,SiF62-离子,碱金属或铵离子,和附带的添加物和杂质。在蚀刻过程中追加NO3-离子,例如以碱金属或铵的硝酸盐形式添加,以使硝酸根离子浓度保持在上述范围内。
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来源：北方有色网
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