本发明属于
锂离子固体电解质薄膜制备方法，其特点是：制备过程如下： 采用远位离子源溅射设备，调节靶材和基片间的距离，然后将溅射室抽真空， 接着通入N2和Ar至所需的真空室；调节等离子发生器产生等离子体，启动牵 引电场将等离子体喷射到靶材表面，开始溅射固体电解质薄膜。通过采用远 位等离子溅射对靶材的均匀溅射，使被溅射材料更加均匀的沉积到基底上， 特别是在制备大面积薄膜的过程中可以很大程度的提高溅射成膜的均匀性； 远位离子源溅射方法，使固体电解质薄膜具有更好的均匀性、更高的靶材利 用率、更高的薄膜制备速度、更多的沉积调节参数可以调节膜层内应力、适 合制备大面积固体电解质薄膜，尤其适用于薄膜电池的工业化制备。
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来源：北方有色网
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