本实用新型公开了一种
锂离子
电池材料的连续式真空化学气相沉积设备，要解决的技术问题是精确控制包覆层的膜厚。本实用新型设有反应室和传动装置，反应室为移动装置，传动装置为传输带循环式传动机，整个传动装置穿置于两端为敞口的四周封闭的分别为预热段、真空沉积段和降温段的流程通道内。本实用新型与现有技术相比，采用传动装置和可移动式反应室，实现了以流水线、自动化作业的方式进行化学气相沉积工艺，实现了对粉状基体进行包覆的加工工艺，工艺简单，容易精确控制包覆层的厚度，生产效率高，降低了生产成本，对环境无污染。
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“锂离子电池材料的连续式真空化学气相沉积设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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编辑：管理员
来源：北方有色网
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