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用于全固态锂离子电池电解质膜的制备方法及电解质膜

1036   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 22:15:32
本发明公开了一种用于全固态离子电池电解质膜的制备方法,包括如下步骤:提供Si衬底;制备Li2O和TiO2的混合物靶材,并在混合物靶材上贴敷La2O3片,在Si上沉积LiLaTiO层;以Li3PO4为靶材,利用反应磁控溅射,在LiLaTiO层上沉积第一LiPON层;以Li3PO4为靶材,利用反应磁控溅射,在第一LiPON层上沉积第二LiPON层;制备Li3PO4与Si3N4的第一混合物靶材;以Li3PO4与Si3N4的第一混合物靶材,利用磁控溅射,在第二LiPON层上沉积第一LiSiPON层;制备Li3PO4与Si3N4的第二混合物靶材;以及制备Li3PO4与Si3N4的第二混合物靶材,利用磁控溅射,在第一LiPON层上沉积第二LiSiPON层。本发明通过晶格结构的渐变设计,达到了较好的能带结构,提高了材料电导率性能,最终能够显著提高全固态锂离子电池的性能。
声明:
“用于全固态锂离子电池电解质膜的制备方法及电解质膜” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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